クリーンルームへの入室などに際し、作業者の身体に付着した髪の毛や塵埃などを空気を吹き付けて除去し、クリーンルーム内へ持ち込まれる塵埃を減らすと共に室圧を保持するエアーロックの役目を果たす。当装置を使用せずにクリーンルームへ入室すると、衣服や身体に付着した粉塵を室内に持ち込んで製品の品質を著しく下げる可能性がある。当社は顧客ニーズに合致した高効率のエアーシャワーを提供し、クリーンルーム内に外部粉塵を持ち込むリスクを最小限に抑え、常に適正なクリーンルーム環境を実現する。
Fig. 1 エアーシャワー構造図
エアーシャワー室と装置部で構成される。送風機から送り出す高圧空気に含まれる塵埃を高性能フィルタで除去し、吹き出し口から風速20m/s以上で対象物に吹き付け、作業着などに付着した粉塵などを効率的に除去する(Fig. 1)。吹き出された空気はプレフィルタを通り、髪の毛など大きなゴミを除去し、再度送風機に送られる。人の出入りが多い場合は、自動扉と組み合わせてクリーンルームへの入室が滞りなく行えるようにし、医薬品工場では殺菌灯を組み込んで装置内での細菌繁殖を防止する。また、クリーンルームへ搬入する原材料、中間製品などを対象に荷物用エアーシャワーや無人搬送機と組み合わせた自動エアーシャワー装置なども提供する。
Fig. 2 エアーシャワー
Fig. 3 清層圏の構造
Fig. 4 清層圏
Table 1 エアーシャワー仕様
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